傳感器微型化,是當(dāng)今傳感器技術(shù)的主要發(fā)展方向之一,也是微機(jī)械電子(微機(jī)電)系統(tǒng)(Micro-Electro Mechanical Systems,MEMS)技術(shù)發(fā)展的必然結(jié)果。MEMS技術(shù),是當(dāng)前蓬勃發(fā)展的前沿技術(shù),微傳感器是目前最為成功、最具有實(shí)用性的微機(jī)械電子系統(tǒng)裝置。微傳感器包括三個(gè)層面的含義:
1)單一微傳感器。它的一個(gè)顯著特點(diǎn)就是尺寸小(一般敏感元件的尺寸從毫米級(jí)到微米級(jí)、有的甚至達(dá)到納米級(jí)).在加工中,主要采用精密加工、微電子技術(shù)以及MEMS技術(shù),使得傳感器的尺寸大大減小。
2)集成微傳感器。將微小的敏感元件、信號(hào)處理器、數(shù)據(jù)處理裝置封裝在一塊芯片上形成集成的傳感器。
3)微傳感器系統(tǒng)。包括微傳感器、微執(zhí)行器,可以獨(dú)立工作。此外,還可以由多個(gè)微傳感器組成傳感器網(wǎng)絡(luò)或者通過其他網(wǎng)絡(luò)實(shí)現(xiàn)異地聯(lián)網(wǎng)。
微傳感器具有一系列的優(yōu)點(diǎn):①體積小,重量輕;②功耗低;③性能好;④易于批量生產(chǎn),成本低;⑤便于集成化和多功能化;⑥提高智能化水平。
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