由中國化工黎明化工研究設(shè)計院(以下簡稱黎明院)承擔(dān)的國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”子項目“高純四氟化碳和六氟化硫研發(fā)與中試”日前通過國家重大專項項目組的測試與評審，標(biāo)志著我國極大規(guī)模集成電路行業(yè)所需高純度含氟電子氣體實現(xiàn)國產(chǎn)化。

集成電路是信息社會的根基，其制造技術(shù)代表著當(dāng)今世界微細(xì)制造的最高水平。隨著我國信息化進(jìn)程的加快，對集成電路產(chǎn)品的需求持續(xù)快速增長。為實現(xiàn)自主創(chuàng)新發(fā)展，我國于2008年啟動實施集成電路專項，以推動產(chǎn)業(yè)應(yīng)用為目標(biāo)，通過市場機(jī)制打通科技與經(jīng)濟(jì)的連接通道，建立以企業(yè)為主體，高校和科研院所大協(xié)作，科技、產(chǎn)業(yè)、金融與區(qū)域經(jīng)濟(jì)有效協(xié)同的新模式。

高純度含氟電子氣體是極大規(guī)模集成電路行業(yè)必需的清洗和蝕刻氣體，在芯片制作過程中保障極大規(guī)模集成電路的生成，確保電路有效發(fā)揮作用。隨著極大規(guī)模集成電路技術(shù)的提升，芯片制程向14納米甚至7納米邁進(jìn)，對電子氣體的純度要求越來越高。

黎明院于2013年開始“高純四氟化碳和六氟化硫研發(fā)與中試”的課題研究，借助國家科技重大專項平臺，潛心攻關(guān)，在多項關(guān)鍵技術(shù)上取得突破。其中高純度四氟化碳和六氟化硫制備過程中微量雜質(zhì)的純化、分析等技術(shù)難題得以攻克，制備出的產(chǎn)品純度達(dá)99.999%，推廣使用后取得了良好的市場效果。此外，該項目在知識產(chǎn)權(quán)指標(biāo)、人才建設(shè)、產(chǎn)業(yè)化指標(biāo)和經(jīng)費使用等多個維度也達(dá)到立項要求。黎明院也由此進(jìn)一步加快了科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)化發(fā)展步伐，成功實現(xiàn)由工業(yè)級向高純級、多品種等高性能、高附加值產(chǎn)品的轉(zhuǎn)型升級和結(jié)構(gòu)調(diào)整。

目前，黎明院高純四氟化碳和六氟化硫的年產(chǎn)能可達(dá)2000噸，價格與進(jìn)口同類產(chǎn)品相當(dāng)，但性價比高，可完全實現(xiàn)對進(jìn)口產(chǎn)品的替代。